English Site

Japanese Site

ติดต่อสอบถาม

เครื่องล้างระบบอัลตร้าโซนิคหัว Nozzle Pulse Jet
[เครื่องล้างอัลตร้าโซนิค 【 เครื่องล้างอัลตราโซนิคชนิดพ่นน้ำ (รวมแท่งควอตซ์) 】]

เกี่ยวกับสินค้า

เป็นเครื่องล้างระบบอัลตร้าโซนิคแบบหัวพ่นที่เหมาะสำหรับการนำไปใช้ทำความสะอาดบนแผ่นเวเฟอร์หรือ HDD
น้ำที่ถูกพ่นจะทำหน้าที่ปล่อยคลื่นอัลตร้าโซนิคและเป็นสื่อกลางสำหรับทำความสะอาดสิ่งสกปรกให้หลุดออกด้วยการใช้คลื่นอัลตร้าโซนิค และยังสามารถกำจัดสิ่งสกปรกขนาดซับไมครอนได้เป็นอย่างดีและทำให้สิ่งสกปรกไม่กลับมาติดบนชิ้นงานซ้ำอีกเช่นกัน

ผู้ใช้สามารถนำไปใช้ติดตั้งในไลน์การผลิตสำหรับ Single Wafer ได้และยังสามารถจูนค่าให้เหมาะกับน้ำยาทำความสะอาดหรือการใช้งานได้



ความถี่
  • 【400kHz】
    W-357-P50
    เพิ่มกำลังการทำความสะอาดด้วยการใช้คลื่นความถี่ระดับกลางคู่กับหัว Nozzle และใช้ทรานส์ดิวเซอร์แบบกำลังสูงในการทำงาน

  • 【1MHz】
    W-357-1MPG
    มีกำลังการทำงานที่คงที่

  • 【1.5MHz】
    W-357-1.5MPG
    เป็นคลื่นความถี่ที่สามารถกำจัดสิ่งสกปรกขนาดอนุภาคขนาดเล็ก และสามารถสื่อสารข้อมูลผ่านระบบ RS422Aได้

  • 【3MHz】
    W-357-3MPG
    เป็นคลื่นความถี่ที่สามารถกำจัดสิ่งสกปรกขนาดอนุภาคเล็กและลดการเกิดความเสียบนชิ้นงานได้

  • W-357P-50

    W-357P-50
    W-357P-50
    สามารถทำความสะอาดได้ดีกว่ารุ่นก่อน
    เป็นรุ่นที่ใช้คลื่นความถี่ระดับกลาง (400kHz) และ Output ระดับ 100W ในการทำความสะอาด
    มีการใช้หัวพ่นที่ทำจากวัสดู PP เพื่อลดการเกิดประจุไออน



    การใช้งาน
    ทำความสะอาดหลังการขัดเงากระจกหรือก่อนการเข้ากระบวนการ Vacuum
    ทำความสะอาด HDD,ซิลิคอนซับสเตรท
    ทำความสะอาดหลังกระบวนการ CMP


    สเปคเครื่อง
    ■เจนเนอร์เรเตอร์
    โมเดล W-357P-50
    รูปแบบสัญญาณ แบบ SINGLE
    ค่าเอาท์พุทสูงสุด 100W
    ความถี่ 400kHz
    Power Supply AC100V 50/60Hz 250VA
    ขนาดภายนอก 232(ก)× 340(ย)× 138(ส) มม.
    (ไม่รวมส่วนที่ยื่น, รวมขายาง)
    น้ำหนัก 6.0กก.

    ●ย่านเอาท์พุท : 0-100%
    ●สภาวะ : อุณหภูมิ : 5-40℃, ค่าความชื้นสัมพัทธ์ : 10-85%
    ●Contact Input : DC24V 20mAหรือต่ำกว่า
    ●Alarm Output : DC24V 20mAหรือต่ำกว่า
    ■ความยาวสายไฟ (ตัวเครื่อง) : 2ม., สายไฟคอนโทรล : 5ม. x 3


    ■ทรานส์ดิวเซอร์ (Nozzle)
    อัตราการไหล 4ลิตร/นาที
    ความยาว φ60x135มม.
    ขนาดรูหัว φ8มม.
    น้ำหนัก 700ก.

    ●อุณหภูมิ : 20-50℃
    ●ทรานส์ดิวเซอร์ : PZT
    ●วัสดุ : Nozzle : PP (Polypropylene), ปะเก็น : ยางซิลิคอน, แผ่นสั่น : แทนทาลัม
    ●ความยาวสายไฟ : 5ม.
    ●ท่อปล่อยน้ำยา : ท่อเฉพาะ (dia.ภายนอกφ13)

    W-357-1MPG

    W-357-1MPG
    W-357-1MPG

    เป็นเครื่องทำความสะอาดแบบ Pulse Jet

    คลื่นอัลตร้าโซนิคจะเกิดขึ้นอย่างคงที่เนื่องจากคลื่นจะมีการแปรผันไปตามอุณหภูมิน้ำและสภาพแวดล้อม
    ความถี่ของทรานส์ดิวเซอร์จะมีการติดตามกระแสเฟสและแรงดันไฟฟ้าของทรานส์ดิวเซอร์อย่างต่อเนื่อง ส่วน Output จะทำหน้าที่คอนโทรลพลังงานไปยังทรานส์ดิวเซอร์อย่างต่อเนื่อง
    มีการคงที่ค่าการปล่อยคลื่นอัลตร้าโซนิคจากทรานส์ดิวเซอร์พร้อมกับควบคุมการเกิดความเสียหายของเครื่องเจนเนอร์เรเตอร์ด้วยการด้วยการติดตามค่าความถี่และการคอนโทรลความคงที่ของเอาท์พุทแบบต่อเนื่อง

    ไม่จำเป็นต้องจูนค่าใหม่เมื่อเปลี่ยนหัว Nozzle
    หากมีการเปลี่ยนสายไฟหรือหัว Nozzle รุ่นเดียวกัน ผู้ใช้ไม่จำเป็นต้องจูนค่าใดๆ ใหม่บนเครื่องเจนเนอร์เรเตอร์

    การติดตามค่า Output
    มีระบบ RS422A จึงทำให้สามารถจูนค่าเอาท์พุทได้จากภายนอก
    มีค่าแรงดันไฟฟ้าที่ 4-20mA



    สเปคเครื่อง

    ■เจนเนอร์เรเตอร์

    โมเดล W-357-1MPG
    รูปแบบสัญญาณ แบบ SINGLE
    ค่าเอาท์พุทสูงสุด 40W
    ความถี่ 1MHz
    Power Supply AC100V-240V Single Phase 50/60Hz 300VA
    ขนาดภายนอก 180(ก)× 250(ย)× 100(ส)มม.
    (ไม่รวมส่วนที่ยื่น, รวมขายาง)
    น้ำหนัก 2.2กก.

    ●ย่านเอาท์พุท : 0W-40W 
    ●สภาวะ : อุณหภูมิ : 5-40℃, ค่าความชื้นสัมพัทธ์ : 10-85%
    ●Contact Input : DC12V 16mAชึ้นไป
    ●Alarm Output : DC24V 0.5A
    ■ความยาวสายไฟ (ตัวเครื่อง) : (100V/2ม. หรือ 200V/3ม.), สายไฟคอนโทรล : 5ม.x4
    ■ทรานส์ดิวเซอร์รุ่น Standard (Nozzle)

    อัตราการไหล 0.9ลิตร/นาที
    ความยาว φ25x80มม.
    ขนาดรูหัว φ4มม.
    น้ำหนัก 300ก.

    ●อุณหภูมิ : 20-50℃
    ●ทรานส์ดิวเซอร์ : PZT
    ●วัสดุ : Nozzle : PCTFE, PTFE; ปะเก็น : FFPM (ยางธรรมชาติ); แผ่นสั่น : เซรามิคเฉพาะ
    ●ท่อปล่อยน้ำยา : ท่อเฉพาะ (dia.ภายนอกφ6)
    ●ความยาวสายไฟ : 5ม.



    W-357-1.5MPG

    W-357-1.5MPG
    W-357-1.5MPG
    เป็นรุ่นที่สามารถกำจัดสิ่งสกปรกขนาดอนุภาคได้ด้วยการใช้คลื่นความถี่ระดับสูงที่ 1.5MHz

    คลื่นอัลตร้าโซนิคจะเกิดขึ้นอย่างคงที่เนื่องจากคลื่นจะมีการแปรผันไปตามอุณหภูมิน้ำและสภาพแวดล้อม
    การทำงานของคลื่นความถี่จากทรานส์ดิวเซอร์จะมีการติดตามกระแสเฟสและแรงดันไฟฟ้าของทรานส์ดิวเซอร์อย่างต่อเนื่อง ส่วน Output จะถูกคอนโทรลด้วยกำลังอย่างต่อเนื่องเพื่อส่งต่อกำลังไปยังทรานส์ดิวเซอร์
    มีการคงที่ค่าการปล่อยคลื่นอัลตร้าโซนิคจากทรานส์ดิวเซอร์พร้อมกับ ควบคุมการเกิดความเสียหายของเครื่องเจนเนอร์เรเตอร์ด้วยการด้วยการติดตามค่าความถี่และการคอนโทรลความคงที่ของเอาท์พุทแบบต่อเนื่อง

    การติดตามค่าเอาท์พุท
    มีระบบ RS422A จึงทำให้สามารถจูนค่าเอาท์พุทได้จากภายนอก
    มีค่าแรงดันไฟฟ้าที่ 4-20mA


    สเปคเครื่อง
    ■เจนเนอร์เรเตอร์
    โมเดล W-357-1.5MPG
    รูปแบบสัญญาณ แบบ SINGLE
    ค่าเอาท์พุทสูงสุด 40W
    ความถี่ 1.5MHz
    Power Supply AC100V-240V Single Phase 50/60Hz 300VA
    ขนาด 180(ก)×250(ย)×100(ส)มม. 
    (ไม่รวมส่วนที่ยื่น, รวมขายาง)
    น้ำหนัก 2.2กก.

    ●ย่านเอาท์พุท : 0W-40W
    ●สภาวะ : อุณหภูมิ : 5-40℃, ค่าความชื้นสัมพัทธ์ : 10-85%
    ●Contact Input : DC12V 18mAชึ้นไป
    ●Alarm Output : DC24V 0.5A
    ■ความยาวสายไฟ (ตัวเครื่อง) : 100V/2ม. หรือ 200V/3ม., สายไฟคอนโทรล : 5ม.x4


    ■ทรานส์ดิวเซอร์ (Nozzle)
    อัตราการไหล 0.9ลิตร/นาที (ข้อต่อตรง)
    ความยาว 29x34x92มม.
    ขนาดรูหัว φ4มม.
    น้ำหนัก 300ก.

    ●อุณหภูมิ : 20-50℃
    ●ทรานส์ดิวเซอร์ : PZT
    ●วัสดุ : Nozzle : PCTFE, PTFE; ปะเก็น : FFKM (ยางโอริง); แผ่นสั่น : แทนทาลัม
    ●ท่อปล่อยน้ำยา : ท่อเฉพาะ (dia.ภายนอกφ6)
    ●ความยาวสายไฟ : 5ม.


    W-357-3MPG

    W-357-3MPG
    W-357-3MPG
    เป็นรุ่นที่ใช้คลื่นความถี่ที่ 3MHz เพื่อการกำจัดสิ่งสกปรกขนาดอนุภาคที่เล็กมากๆ และยับยั้งความเสียหายมากขึ้น


    มีการปล่อยคลื่นอย่างคงที่เพื่อให้สอดคล้องกับการแปรผันตามอุณหภูมิน้ำและสภาพแวดล้อม
    การทำงานของคลื่นความถี่จากทรานส์ดิวเซอร์จะมีการติดตามกระแสเฟสและแรงดันไฟฟ้าของทรานส์ดิวเซอร์อย่างต่อเนื่อง ส่วน Output จะถูกคอนโทรลด้วยกำลังอย่างต่อเนื่องเพื่อส่งต่อกำลังไปยังทรานส์ดิวเซอร์
    มีการคงที่ค่าการปล่อยคลื่นอัลตร้าโซนิคจากทรานส์ดิวเซอร์พร้อมกับควบคุมการเกิดความเสียหายของเครื่องเจนเนอร์เรเตอร์ด้วยการด้วยการติดตามค่าความถี่และการคอนโทรลความคงที่ของเอาท์พุทแบบต่อเนื่อง

    การติดตามค่าเอาท์พุท
    มีระบบ RS422A จึงทำให้สามารถจูนค่าเอาท์พุทได้จากภายนอก
    มีค่าแรงดันไฟฟ้าที่ 4-20mA



    สเปคเครื่อง
    ■เจนเนอร์เรเตอร์
    โมเดล W-357-3MPG
    รูปแบบสัญญาณ แบบ SINGLE
    ค่าเอาท์พุทสูงสุด 40W
    ความถี่ 3MHz
    Power Supply AC100V-240V Single Phase 50/60Hz 300VA
    ขนาด 180(ก)×250(ย)×100(ส)มม. 
    (ไม่รวมส่วนที่ยื่น, รวมขายาง)
    น้ำหนัก 2.2กก.

    ●ย่านเอาท์พุท : 0W-40W 
    ●สภาวะ : อุณหภูมิ : 5-40℃, ค่าความชื้นสัมพัทธ์ : 10-85%
    ●Contact Input : DC12V 18mAชึ้นไป
    ●Alarm Output : DC24V 0.5A
    ■ความยาวสายไฟ (ตัวเครื่อง) : 100V/2ม. หรือ 200V/3ม., สายไฟคอนโทรล : 5ม.x4


    ■ทรานส์ดิวเซอร์ (Nozzle)
    อัตราการไหล 0.9ลิตร/นาที (ข้อต่อตรง)
    ความยาว 29x35x92มม.
    ขนาดรูหัว φ4มม.
    น้ำหนัก 300ก.

    ●อุณหภูมิ : 20-50℃
    ●ทรานส์ดิวเซอร์ : PZT
    ●วัสดุ : Nozzle : เซรามิคเฉพาะ; ปะเก็น : ยางไวตัน, ยางซิลิโคน; แผ่นสั่น : เซรามิคเฉพาะ
    ●ท่อปล่อยน้ำยา : ท่อเฉพาะ (dia.ภายนอกφ6)
    ●ความยาวสายไฟ : 5ม.
    แผนกเครื่องมืออุตสาหกรรม