English Site

Japanese Site

ติดต่อสอบถาม

W-357-1MQB-SKC เครื่องล้างระบบอัลตร้าโซนิคหัว Quartz (ความถี่สูง)|W-357-1MQB-SKC
[เครื่องล้างอัลตร้าโซนิค 【 เครื่องล้างอัลตราโซนิคชนิดพ่นน้ำ (รวมแท่งควอตซ์) 】]

เกี่ยวกับสินค้า


ใช้คลื่นความถี่สูงในการทำความสะอาดจึงสามารถทำความสะอาดชิ้นงานได้โดยแทบไม่เกิดความเสียหายใดๆ


石英振動体型

จุดเด่น
●ติดหัวทรานส์ดิวเซอร์ไว้บริเวณหัว Quartz
●สามารถทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างทั่วถึงโดยไม่เกิดความเสียหาย
●ใช้หัว Quartz แทนการใช้หัวยางในการสัมผัสหน้าเวเฟอร์ เพื่อแก้ไขปัญหาการสึกหรอหรือยางหลุดออกและยังเพิ่มประสิทธิภาพการทำความสะอาดให้สูงขึ้น
●ประหยัดการใช้น้ำยามากขึ้นเมื่อเทียบกับเครื่องล้างระบบอัลตร้าโซนิคแบบ Batch หรือแบบ Flushing
●สามารถใช้กับน้ำยาได้หลากหลาย เช่น น้ำยา Solvent SC1

การใช้งาน
●ใช้ทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์
- ทำความสะอาด Photoresist
- หลังกระบวนการ Etching หรือกระบวนการ Ashing
- หลังกระบวนการ CMP
●ใช้ทำความสะอาด Photomask


วีดีโอ : ตัวอย่างการทำงาน



เจนเนอร์เรเตอร์


โมเดล W-357-1MQB-SKC
รูปแบบสัญญาณ คลื่นความถี่เดียว
เอาท์พุท 12W
ความถี่ 1MHz
Power Supply 200-240 V AC
Single Phrase 50/60Hz 300VA
ขนาด 180(ก) x 250(ย) x 100(ส) มม.
(ไม่รวมส่วนที่ยื่น, รวมขายาง)
น้ำหนัก 2.2กก.

●ย่านค่าเอาท์พุท : 0 - 12 W (ทรานส์ดิวเซอร์สามารถทำงานได้นานต่อเนื่องสูงสุดที่ 10W เมื่อใช้กับท่อ Air Purge)
●อุณหภูมิ : 15 - 40 ℃, ค่าความชื้นสัมพัทธ์ : 10 - 85 %
●อินเตอร์เฟส : Remote Control, ตรวจจับการไหล
- เอาท์พุท : 4-20mA, การแจ้งเตือนความผิดปกติในการทำงาน
- RS-422A : แจ้งเตือนความผิดปกติในการทำงาน, คอนโทรลเอาท์พุท
●ความยาวสายไฟ : สายไฟเอาท์พุท (100V/2ม. หรือ 200V/3ม.), สายไฟคอนโทรล (5ม.)x4

ทรานส์ดิวเซอร์

อัตราการไหล N/A
ความยาว 159มม.
ขนาดหัวจับ dia.24มม.
พื้นที่ทำความสะอาด 24ซม. 2
น้ำหนัก 600ก.

●อุณหภูมิ : 20 - 50 ℃
●ทรานส์ดิวเซอร์ : PZT
●วัสดุ : หัวสั่น : Quartz/ ปะเก็น : ยางซิลิคอน/ เคส : PCTFE
●ความยาวสายไฟ : สายเอาท์พุท 1.5ม. + สายรีเลย์ 3.5ม.
●ข้อต่อ Air Purge :ท่อเฉพาะ (dia. ภายนอกφ6)

※ โปรดสอบถามเพิ่มเติมสำหรับความถี่ 2MHzและ 3MHz
แผนกเครื่องมืออุตสาหกรรม